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CSIC NM020- Obtención de polvo de Nitruro de Silicio mediante técnicas de CVD, para aplicaciones ceramicas
El Instituto Ciencia de Materiales, CSIC, ha desarrollado un nuevo procedimiento para la obtención de polvo de nitruro de silicio mediante técnicas de CVD. El interés radica en el desarrollo industrial de la técnica de CVD ya que es posible obtener por este procedimiento un polvo de nitruro de silicio, de elevada pureza, con tamaño de grano del orden de unas centenas de nanómetro, adecuado para aplicaciones cerámicas.
Ficha técnica:
El nitruro de silicio se obtiene mediante técnicas de Deposición Química en fase Vapor (CVD) mediante reacción de un precursor apropiado de silicio (haluros de silicio) y de nitrógeno (preferentemente amoniaco) en un reactor de cuarzo calentado a altas temperaturas (800-1000 ºC). Manteniendo la presión en el reactor entre 0,6 y 80 KPa se favorece la reacción de los gases en fase homogénea dando lugar a un polvo de Si3N4 de extremada pureza, y de tamaño de grano del orden de 100 nm. Un aspecto importante del proceso es la utilización de un `colector` que permite recoger el polvo en el interior del reactor para su posterior utilización en aplicaciones cerámicas.
ASPECTOS INNOVADORES
Generalmente, el polvo de silicio se obtiene bien sea, mediante la nitruración de silicio o, mediante la reducción carbotérmica de sílice a temperaturas elevadas. También se ha utilizado la descomposición térmica de imidas. La técnica descrita de CVD, propuesta por primera vez para esta aplicación, permite la síntesis de un polvo ultrafino y de gran pureza a partir de la reacción de gases precursores apropiados
VENTAJAS COMPETITIVAS
La pureza y tamaño de grano del nitruro de silicio resultante confiere muy buenas propiedades para la fabricación de piezas cerámica mediante el prensado y posterior sinterización
PALABRAS CLAVE
003001017 Vacuum / High Vacuum Technology 002003002 Ceramic Materials and Powders
SOLICITUD DE PATENTE
Solicitada
PERSONA DE CONTACTO
José María Bielza
mail: m.bielza@orgc.csic.es
teléfono: 915616800 (ext. 3210)
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